綠菱氣體公司成功揭榜掛帥天津市新一代人工智能科技重大專項

        日前，綠菱氣體公司申報的“集成電路用特種氣體研究及適配應用項目”成功揭榜掛帥天津市新一代人工智能科技重大專項。標志著綠菱氣體公司在電子特氣行業的產品研究和應用方面取得重大進展。

        2021年8月，天津市科學技術局發布新一代人工智能科技重大專項“揭榜掛帥”榜單，其中“集成電路用特種氣體研究及適配應用”是這次發布的三個項目方向之一。綠菱電子材料（天津）有限公司作為第一申報單位，聯合中芯國際集成電路制造（天津）有限公司作為第二申報單位，在天津市武清區科學技術局的組織和領導下組成科研骨干小組進行深入論證，迅速形成了申報材料，最終通過相關評審和公示，成功“揭榜掛帥”！

        根據項目規劃，綠菱氣體公司和中芯國際公司將用三年左右的時間，對高端制程專用刻蝕與沉積特氣丙烯、六氟丁二烯、一氟甲烷和三氟碘甲烷的純化技術進行開發，實現上述產品在芯片制造公司示范應用，提升高純電子特氣發展水平，支撐集成電路先進制造工藝的突破。在項目推進過程中，同步進行申報發明專利、制定行業標準、培養專業人才等工作。

        高純電子級丙烯、六氟丁二烯、一氟甲烷和三氟碘甲烷因其獨特的刻蝕和沉積特性，應用于集成電路高端制程中，適用于200-300mm晶圓生產線。以上產品分離純化、分析、包裝物、產業化的科學工程技術突破以及自主知識產權研發技術，將解決國內民族芯片產業關鍵卡脖子材料制約的問題，為國家集成電路配套新材料產業的制備、純化與產業化技術提供重要保障，也是打破我國高純電子特氣受制于人局面的關鍵。